Thermische Massenflussregler

Thermische Massendurchflussregler arbeiten, indem sie die vom strömenden Gas aufgenommene oder abgeführte Wärmemenge messen. Dieses Prinzip basiert auf der spezifischen Wärmekapazität des Gases, also der Energiemenge, die erforderlich ist, um dessen Temperatur zu erhöhen. Durch die Überwachung der Temperaturänderung in einem beheizten Strömungsbereich ermöglichen diese Geräte eine präzise Berechnung und Regelung des Massendurchflusses – unabhängig von Umgebungsdruck oder -temperatur.